Al Polymer（by PoseidonX）
アルミ配線エッチング、及びアッシング後に残ったポリマー、上図ではパターン側壁と上部端に薄く残っている。
下図は蒸気洗浄の後、ポリマーが除去された後のSEM写真。 |
Via Polymer（by PoseidonX）
ビアホールエッチング後のレジスト、及びポリマー除去で、上図はレジストとポリマー（副生成物）が見える。
下図は、蒸気洗浄でレジストとポリマーを同時に除去した後のSEM写真。 |
HDI PR Strip（by Aurora）
高ドーズイオン注入後のレジスト剥離で、上図はイオンが注入されて変質した層（硬化層）
下図はラジカルで硬化層を除去した後のSEM]写真、この後ホットオゾンでレジストを除去する |
