これまでアクアサイエンスがメディアに掲載された様々な情報をご紹介します。

　技術文献

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• Development of Cleaning Technique by Using Spray Mixed with Steam and Water
• Cleaning Technique　Using High-Speed　Steam-Water Mixed Spray
• Posst Ion-Implant Photoresist Stripping Using Steam and Water

• On a cleaning technique eliminates need for chemical solutions
• Clean Technology 2010.7
• Chemical-free cleaning process,steam and water mixed spray

　特 許

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　　◆　登録番号　第4799807　「対象物処理装置および対象物処理方法」　　　　　　　　加圧温水、混合液による剥離・洗浄・加工装置

　　◆　登録番号　第4413266　「対象物処理装置および対象物洗浄システム」　　　　　 水蒸気を利用したキャビテーションによる洗浄システム

　新 聞

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• 2003年12月3日
  日本経済新聞掲載
• 2007年11月28日
  半導体産業新聞掲載
• 2008年1月21日
  日刊工業新聞掲載
• 2008年11月26日
  半導体産業新聞掲載
• 2009年7月30日
  日経産業新聞掲載

　ＬＩＮＫ

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• 新技術開発財団（第83回 助成）
  http://www.sgkz.or.jp/project/newtech/83/document_04.html
• TSUNAMIアントレプレナーズ倶楽部
  http://www.openmindjapan.com/BackNumber08123.htm
• 株式会社テクサーブ
  http://techserve.co.jp/jindex.html
• 伯東株式会社
  http://www.hakuto.co.jp/products/equipment/

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