これまでに当社に寄せられたよくあるご質問と、その回答

• 蒸気洗浄のメリットは？
• 危険で高価な薬液を使用しないので、「生産コストが大幅に低減できること」、
  「人や設備に対する安全性が確保できる」、
  「原料が純粋なのでクリーン（清浄）度が高い」、
  「薬液のようにその効果が変化することがないので
  洗浄性能の再現性が高い」、「非接触なので対象物の表面状態に影響を受けない」、
  「環境にやさしい」など多くのメリットがあります。
• なぜ蒸気で洗浄が可能なのか？
• 蒸気と水の混相流を超高速で噴射することで微小な水滴を対象物に当てた時に発生する
  マイクロキャビテーションを利用します。似たような技術に超音波洗浄があります。
• どのような洗浄に適していますか？
• 基本的に物理力（衝撃波）で洗浄しますので、表面に付着した異物（固形物）、
  レジストなどの有機物、加工した時にでる切り屑、
  エッチング時の反応生成物などに適しています。
  また、１％以下に希釈された薬液でアシストすることで
  さらにその効果を高めることもできます。
• LEDの製造工程で金のリフトオフにも使えますか？
• 使えます。そして金の回収率もほぼ100％と高いので生産コストの低減効果が大きく、
  処理枚数が多くなるほどその効果が期待できます。
• なぜオゾン水でレジストの剥離レートが高くできたか？
• ベークしたレジストであれば１分間に４ミクロン以上のレートが出ますが、
  高温で高濃度のオゾン水を作る技術と高濃度のまま
  対象物の表面に供給する技術によって可能になります。