這裡介紹AQUA SCIENCE到現在的被媒體報導的各式各樣的情報。
技術文獻
Development of Cleaning Technique by Using Spray Mixed with Steam and Water
Cleaning Technique Using High-Speed Steam-Water Mixed Spray
Posst Ion-Implant Photoresist Stripping Using Steam and Water
On a cleaning technique eliminates need for chemical solutions
Clean Technology 2010.7
Chemical-free cleaning process,steam and water mixed spray
專 利
◆登錄編號 第4799807 「對象物處理裝置及對象物裝置」 對象物處裡裝置及對象物處理方法
◆登錄編號 第4413266 「對象物處理裝置及對象物清洗系統」 利用水蒸氣的氣穴原理的清洗系統
報 導
-
2003年12月3日
日本經濟新聞報報導 -
2007年11月28日
半導體產業新聞報報導 -
2008年1月21日
日刊工業新聞報報導 -
2008年11月26日
半導體產業新聞報報導 -
2009年7月30日
日本產業新聞報報導
LINK
-
新技術開發財團(第83回 津貼)
http://www.sgkz.or.jp/project/newtech/83/document_04.html -
TSUNAMI企業家俱樂部
http://www.openmindjapan.com/BackNumber08123.htm -
株式會社TECHSERVE
http://techserve.co.jp/jindex.html -
伯東株式會社
http://www.hakuto.co.jp/products/equipment/

