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アクアサイエンス株式会社  |
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地球上すべての生命は水から始まりました
半導体で培った最先端洗浄技術をコアに
産業用洗浄装置の開発・設計・販売を通して
薬液使用量の削減、及び地球環境負荷の
低減に貢献していきます |
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| 2010年 |
5月 |
NEW 半導体向け、Tritonを韓国半導体メーカへ納入 |
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1月 |
太陽電池向け TritonPV1を国内大手に納入 |
| 2009年 |
11月 |
蒸気洗浄方法・装置に関する特許登録 |
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10月 |
ECSで北大・静大から蒸気洗浄技術を学会発表 |
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8月 |
新技術開発財団の助成金に採択される |
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4月 |
Triton デモ機(β)をクリーンルームに設置 |
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3月 |
福山事務所開設 |
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2月 |
Aurora デモ機(β)をクリーンルームに設置 |
| 2008年 |
12月 |
セミコンジャパンに「Aurora」を出展 |
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9月 |
プリント基板用蒸気洗浄装置納入 |
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8月 |
レジスト除去法及びレジスト除去装置の特許出願 |
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剥離液及び対象物洗浄方法の特許出願 |
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6月 |
プリント基板用蒸気洗浄装置受注 |
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3月 |
モジュール1号機出荷 |
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2月 |
第三者割当増資(資本金4億6270万円) |
| 2007年 |
12月 |
セミコンジャパンに出展、販売活動を始める |
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11月 |
蒸気洗浄装置(PoseidonX)新聞発表 |
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10月 |
高ドーズイオン注入レジスト剥離装置(Aurora)新聞発表 |
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